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分子泵過(guò)流保護分為恒速運行中過(guò)流保護與加速中過(guò)流保護兩種情況，應分別診斷:

1.恒速運行中過(guò)流保護可能情況:分子泵運行中負載突變檢測方式及建議:
觀(guān)察系統真空度變化過(guò)程;
若出現較明顯變化(如10~-4Pa降至10~-1Pa)，則會(huì )出現過(guò)流保護情況。

2.加速中過(guò)流保護可能情況:系統漏氣、真空度較差
檢測方法及建議:
觀(guān)察分子泵前級真空度是否優(yōu)于10Pa;
用檢漏儀對系統進(jìn)行整機檢漏，確保系統無(wú)漏;
確保系統漏率在允許范圍內且前級優(yōu)于10Pa后重啟分子泵。